潔凈室工程按潔凈程度可分為100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)和100000級(jí)。半導(dǎo)體電子潔凈室的潔凈室要求是按照每立方米空氣中0.5微米的塵粒數(shù)量計(jì)算的，通常在10萬(wàn)級(jí)以上的標(biāo)準(zhǔn)，細(xì)小顆粒，需要使用過濾器。一般來說，潔凈室的風(fēng)速越低，過濾效果越好。

在無塵車間設(shè)計(jì)中，風(fēng)速越低，細(xì)顆粒粉塵的擴(kuò)散作用越明顯，這主要是因?yàn)闈崈糗囬g的風(fēng)速越低，氣流必須在過濾器中停留的時(shí)間越長(zhǎng)。材料，灰塵會(huì)干擾他人，物體的影響越明顯，過濾效率越高。在大多數(shù)情況下，如果在潔凈室設(shè)計(jì)中使用高效過濾器，如果風(fēng)速降低一半，粉塵傳輸率會(huì)降低近一個(gè)數(shù)量級(jí)，如果風(fēng)速增加一倍，傳輸率會(huì)下降。增加一個(gè)數(shù)量級(jí)。在帶有細(xì)小顆粒的粉塵擴(kuò)散中，風(fēng)速越高，阻力越大，如果過濾器壽命以最終阻力為準(zhǔn)，風(fēng)速越高，過濾器壽命越短。

在半導(dǎo)體電子無塵室項(xiàng)目中，類似于粉塵帶有細(xì)小顆粒的擴(kuò)散效應(yīng)，如果濾材帶靜電，粉塵在濾材中停留的時(shí)間越長(zhǎng)，就越容易被材料吸附。當(dāng)半導(dǎo)體電子清洗車間的風(fēng)速發(fā)生變化時(shí)，靜電材料的過濾效果會(huì)發(fā)生很大的變化。因此，在設(shè)計(jì)無塵室技術(shù)時(shí)，如果材料上有靜電，則在設(shè)計(jì)空調(diào)系統(tǒng)時(shí)必須盡量減少通過各個(gè)過濾器的空氣量。對(duì)于以慣性機(jī)制為主的粗粉塵，根據(jù)常規(guī)理論，風(fēng)速降低后，粉塵與纖維碰撞的概率會(huì)降低，過濾效率也會(huì)相應(yīng)降低。但在實(shí)際應(yīng)用中，這種效果并不明顯，因?yàn)轱L(fēng)速低，纖維從灰塵中的反彈力也小，粘塵的概率較高。